序号

项目

参数

1

测量头调焦物镜焦距

206.265mm

2

测量头物镜工作距离

-∞～-289mm，+441mm～+∞

3

双向测微目镜倍率

15倍

4

双向测微目镜测量范围

x方向：0～8mm，y方向:0～8mm

5

双向数显测微目镜分度值

0.001mm

6

工作台直径

Φ200mm

7

标准配置可允许被测物镜重量

≯200公斤

8

标准配置垂直轴晃动

≯2＂

9

标准配置垂直轴径向跳动

≯2μm

10

立柱导轨不直度

≯0.1mm

11

光路伸长器在导轨上运动时，反射镜晃动

≯30＂

12

球面半径测量范围

-∞～-1mm ，+1mm～+∞

13

允许被测仪器高度

≯300mm

14

工作台台面平面度

≯20μm

15

转台可以X-Y移动