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Quantus LP100 气体分析仪
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介 绍 INFICON Quantus LP100 气体分析仪可在关键过程环境中进行实时检漏和终点检测。许多过程对泄漏都很敏感,或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪,专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化,以最大限度地减少报废,提高产出。 |
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功 能 • 方便的现场可更换等离子单元 • 使用标准 KF25 连接方便地安装 • 更低的维护成本 • Excellent detection limits down to low ppm levels • 工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr • 长期可靠性:无需泵 • Low cost of ownership • 快速的 10 Hz 采样频率 • Small footprint: (H x W x L) 87 x 151 x • 有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持 |
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