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介 绍 The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借绝佳环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。 通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的最佳真空结构,UL1000 Fab 提供的前所未有的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。专利软件 I-CAL(智能泄漏率计算法)让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼,因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。 使用额外的 TC1000 测试盒配件,UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试,如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管。 |
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功 能 • 15 级的宽测量范围 • 较短的抽气和响应时间 • I-CAL(智能泄漏率计算法)确保了在所有测量范围中提供最快的泄漏响应时间 • 抑零功能和自动积分时间校正,可提供快速、可靠的泄漏检测结果 • 含坚固耐用低真空泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气抽气能力和高压缩比 • 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染 • 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行泄漏检测 • 可通过电子邮件进行软件更新 • 内置软件菜单“自动测漏”功能可执行密封组件的自动测试(可选 TC1000 测试盒) |
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应 用 • 对半导体加工工具执行维护作业,无论是否具有自有泵支持 • 需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用 • 在现有工具中安装前对部件执行检漏 • 工艺气体系统的检查和安装 • 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试 |
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技术参数
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