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QMG700分析型四极质谱仪
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介 绍 QMG700分析型四极质谱仪是瑞士INFICON公司生产的高端四极质谱仪,可以实现在线气体的成分和含量的分析.针对用户对气体分析的不同要求,QMG700系列质谱仪提供很多不同的配置和性能. QMG700质谱的应用包括残余气体分析,中性气体分析,溅射气体分析,二次离子分析,等离子体的组分和能量分析等. QMG700质谱也可以作为OEM厂家的质谱核心部件,实现特定应用的气体分析,如气溶胶气体分析,过程气体在线分析(如炼钢过程气体分析,生化过程气体分析,呼吸气体在线检测等),超纯气体分析等. |
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主要特点 • 高档四极质谱仪 • 分析型四极质谱仪 • 极其稳定的质谱信号(峰位稳定,峰强稳定,峰型稳定) • 很高的信噪比 • 检测极限低 • 反卷积矩阵定量分析软件
主要应用 • 二次离子质谱仪(SIMS) • 质子传输质谱仪(PTRMS) • 微量恒量分析,集成高压采样系统 • MBE 分子束外延残余气体分析 • IMP等离子体刻蚀终点检测 • 常压采样分析系统
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技术参数 • 质量数范围: 1-100AMU,1-128AMU,1-200AMU,1-300AMU,1-500AMU,1-1024AMU,1-2048AMU • 检测极限:最优可达5E-16mbar, 分压比最优可达<0.5ppb • 可配法拉第,倍增器,离子计数器等检测器 |
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