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介 绍 Transpector® 气体分析系统是一种 RGA，可在半导体制造业中，为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。与之相比，Transpector 2 提高了氢气灵敏度，使下限达 ppm 量级的污染均可一览无余，低电平信号下的扫描速度快达四倍，动态扫描范围更为宽泛，可在更低的可检分压强下提供更纯净的数据 |
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功 能 • 100-amu、200-amu 和 300-amu 系统配备有法拉第杯或组合式电子倍增器/法拉第杯 • 提高氢气检测水平 • 优异的峰值振幅和位置稳定性 • 与原始 Transpector 相比，信噪比高达 10 倍 • 低电平信号下扫描速度更快 • 九个数量级的电子动态量程 • 针对单腔室系统和多腔室系统的软件选项 • 分压测量范围为 1 X 10 -4 Torr 至 5 X 10 -15 Torr |
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技术参数
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