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Transpector XPR3L 气体分析系统
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介 绍 用于监控过程气体和基本真空条件的工具是 Transpector ® XPR |
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功 能 • 通过运行高达 10mTorr(可选 20mTorr)的 UHV,提供经济实惠的双用功能、过程监控和基本真空保证 • 经济高效的过程监控器,可用于可扩展的生产设计 • 通过持续自动监控过程气体压力、气体比率和可能存在的污染或杂质,提高过程良率,减少碎片提高产品质量 • 通过以高灵敏度和最小可检分压强验证基本真空条件、查找泄漏以及鉴别污染,加快 PM 恢复,提高生产力 • 可在 1 - 100 amu 质量范围内运行,能够检测各种材料、污染或副产品,确保您的投资安全,降低投资风险 • 与 FabGuard 监控和分析系统相兼容,提供可靠、先进的诊断和过程控制 |
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应 用 • 太阳能/光伏设备制造 • LCD 制造 • PVD 过程监控 • 监控过程气体压力和气体比率 • 暴露和鉴别污染 • 检测和查找泄漏(空气、氦气、水及其他蒸汽) • PM 恢复/故障排除和验证基本真空灵敏度。 |
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